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低損耗鈮酸鋰條型波導和分支結構的制備方法

1167 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 22:15:01

本發明涉及一種低損耗鈮酸鋰條型波導和分支結構的制備方法，采用多能量中/重離子注入，注入離子的能量范圍是2MeV~6MeV，注入后采用溫度由低到高階梯式退火處理，溫度范圍200℃~500℃,逐漸增加退火溫度，每次增加溫度的間隔至少15℃，每一退火溫度下的退火時間為20min~60min。多能量注入減小了漏光損耗，多溫度梯度退火在減少吸收和散射損耗的同時確保折射率減小層的穩定，采用本發明中的方法我們已經在鈮酸鋰晶體上獲得了損耗只有0.17dB的能夠在1.5微米波段傳輸的單模條形波導和分支器，這是目前能夠測到的離子注入波導損耗的最小值。

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“低損耗鈮酸鋰條型波導和分支結構的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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