本發明的目的在于提供一種鉭酸鋰單晶基板,其翹曲小,無破損、瑕疵,并且溫度特性比現有的旋轉Y切割LiTaO3基板好,機電耦合系數大,而且器件的Q值高。本發明的鉭酸鋰單晶基板是使Li從晶體方位為旋轉36°Y~49°Y切割的旋轉Y切割LiTaO3基板的表面向內部擴散,而具有基板表面和基板內部的Li濃度不同的濃度分布的LiTaO3單晶基板,其特征在于,該LiTaO3單晶基板被實施了單一極化處理,從基板表面到在LiTaO3基板表面傳播的表面聲波或者泄露表面聲波的波長的5~15倍的深度為止具有大致均勻的Li濃度。
聲明:
“鉭酸鋰單晶基板及其接合基板、該接合基板的制造方法以及使用該基板的表面聲波器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)