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            > 鈮酸鋰晶體化學機械拋光液

            鈮酸鋰晶體化學機械拋光液

            939   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 21:56:15
            本發明提供一種鈮酸鋰晶體化學機械拋光液,屬于精密/超精密加工技術領域。鈮酸鋰化學機械拋光液的pH為9.5?10,包含溶質和溶劑兩部分。其中,溶劑為去離子水。按溶質總質量分數100%計,其各組分和質量百分比含量如下:10~20wt%硅溶膠,1~2wt%氫氧化鉀,0.02~0.05wt%表面活性劑,其余為pH調節劑,各物質在去離子水中通過超聲混合均勻。本發明提供的化學機械拋光液腐蝕作用適中,在保證拋光液化學作用前提下,能夠獲得超光滑、無損傷的鈮酸鋰表面;氧化石墨烯可以促使工件表層氧化并形成軟化層,加快工件表面的拋光效率,縮短拋光時間。
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            “鈮酸鋰晶體化學機械拋光液” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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