本實用新型公開了一種鉭酸鋰芯片的研磨裝置,包括機臺,機臺上設有可轉動的下研磨盤,下研磨盤為圓形;下研磨盤上設有能轉動的上研磨盤,上研磨盤也為圓形,且直徑與下研磨盤一致;上研磨盤的轉動軸心與下研磨盤一致,但轉動方向相反;機臺還設有頻率監測裝置,上研磨盤的上端面設有多個供頻率監測裝置的探測頭伸入的通孔,頻率監測裝置與驅動下研磨盤和上研磨盤的電機電氣連接。該實用新型的一種鉭酸鋰芯片的研磨裝置,能提高鉭酸鋰芯片的研磨的成品率,且加工成本低。
聲明:
“鉭酸鋰芯片的研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)