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            > 鉭酸鋰薄膜紅外探測器及制法

            鉭酸鋰薄膜紅外探測器及制法

            732   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 21:52:07
            本發明涉及鉭酸鋰薄膜紅外探測器及制法。本發明包括:一紅外濾波窗口,一諧振斬波調制器,一聚焦透鏡,一熱釋電鉭酸鋰薄膜紅外探測頭,一熱沉腔體,一前置放大器,一低通濾波器,一電源及信號輸出接口,一殼體,一環境溫度探測補償器。探測器制法,包括:選基底,在其正反面生長SiO2層,依次在正面沉積Si3N4層,濺射Ti層,濺射光刻Pt電極層,制備鉭酸鋰薄膜層,沉積光刻Al電極層,生長光刻SiNX抗反射層,濺射黑層,完成制作雙元結構紅外探頭。聚焦透鏡上涂防反射膜。紅外窗口貼窄帶濾波膜。前置放大器用JFET管或運放搭建。低通濾波器由運放搭建。諧振斬波調制器用壓電驅動,或電磁驅動,諧振頻率為1Hz~1000Hz。
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