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薄膜鋰電池的制備方法

823 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 21:50:26

本發明公開了一種薄膜鋰電池的制備方法，包括采用Al2O3單晶襯底為薄膜鋰電池的基底，采用DC磁控濺射將弱取向的多晶Au膜進行沉積；采用紅外激光加熱，并在真空環境下退火；在脈沖激光沉積系統中，沉積LCO膜作為陰極，采用Li1.2CoO2的燒結陶瓷靶材；在射頻磁控濺射沉積系統中，采用RF磁控濺射沉積的LiPON固體電解質層；采用常規蒸發方法將用于陽極的金屬Li膜沉積在LiPON層上。本發明制備的薄膜電池也性能穩定，獲得了清潔的電解質/電極界面，避免表面污染，實現全固態電池的較低界面電阻。

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“薄膜鋰電池的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方

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