本發明公開了一種利用等離子去除鋰電池電極片鋁屑的處理工藝及裝置,該處理工藝包括:a、將分切好的鋰電池電極片豎直放置在一密封的刻蝕腔體內的轉盤上;b、通過抽氣裝置將刻蝕腔體抽至真空狀態;c、通過氣體進口向刻蝕腔體內通入刻蝕氣體,由射頻源將通入的刻蝕氣體激發成等離子體來對鋰電池電極片的分切斷面進行刻蝕;d、通過抽氣裝置將刻蝕掉的物質吸走并排放掉,然后從通入氧氣。本發明通過射頻源對刻蝕氣體進行激活成等離子體,利用等離子體對鋰離子電極片的分切斷面上的鋁屑進行刻蝕處理,產生的等離子體在電極片的負偏壓電源作用下,高速轟擊鋰離子電極片的邊緣并產生刻蝕效果,來達到去除電極片邊緣鋁屑的目的。
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