本發明公開了一種鋰離子電池硅碳負極材料及其制備工藝和設備,負極材料包括基材和沉積在基材表面的納米硅,所述基材為碳材料,所述納米硅通過等離子增強化學氣相沉積工藝沉積在基材表面,所述等離子增強化學氣相沉積工藝過程中,基材在沉積區為流態化運動狀態,所述等離子增強化學氣相沉積工藝在流態化等離子氣相沉積爐內進行,所述流態化等離子氣相沉積爐內設有正極板、負極板和攪拌上料機構,所述基材在負極板振動作用和攪拌上料機構作用下在沉積區作流態化循環運動。本發明通過基材在沉積過程的流態化流動,確保納米硅均勻且牢固的分布在碳材料上,解決了納米硅因游離而抱團的問題,將其作為鋰離子電池負極材料可以有效提高電池的工作性能。
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