本發明公開了一種利用溫度梯度可調節的溫場裝置生長近化學計量比鈮酸鋰晶體的方法,包括對晶體生長爐溫場裝置結構的改進,以實現對溫度梯度變化的機械控制,并在晶體生長不同階段,通過改變溫場頂部保溫罩的保溫效果,實現垂直于籽晶桿軸線方向上的溫度梯度變化,用于滿足晶體生長過程中縮頸和放肩所需的較大溫度梯度的要求,以及晶體等徑生長所需的較小溫度梯度的要求,從而實現高品質的近化學計量比晶體的生長。本發明方法也用于其他類型的晶體生長可變溫度梯度的溫場控制上,并可實現計算機自動程序控制管理,避免人工操作的誤差,確保對鉭酸鋰、鈮酸鋰等晶體生長質量的要求,具有良好的應用前景。
聲明:
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