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            > 機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法

            機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法

            1305   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 21:34:05
            本發明涉及電池領域,且公開了一種機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法,該制備方法適用于制備機器人鋰電池生產用全固態薄膜,其特征在于,包括以下步驟:選取基底層,用500目?3000目的砂紙對基片表面進行機械拋光,直至表面能發生鏡面反射;采用磁控濺射技術在基底表面沉積一層金屬流體層;采用負極活性物質材料作為靶材,安裝好靶材和基片以后關閉送樣室和外延室,利用機械泵,分子泵,離子泵將外延室真空抽至1×10?7Pa以下,調整靶材與基片間的距離為60mm,自轉速率為10?15轉/min,預濺射2?4h以上,采用對耙交替沉積的方法,每一塊靶材轟擊10?15下,本發明一種機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法,可以提高固態膜的密度,穩定性好。
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