本發明公開一種電致變色膜系中的鉭酸鋰薄膜的制備方法,包括以下步驟:S1、取20Ω的ITO鍍膜玻璃作為襯底;S2、將襯底裝入樣品架,送入磁控濺射鍍膜腔室;以鉭酸鋰靶為靶材;S3、對磁控濺射鍍膜腔室抽真空,當真空度達到10?6Pa時,對襯底進行100~200℃的加熱處理;S4、向磁控濺射鍍膜腔室內通入氬氣,開啟射頻電源,使靶材起輝;然后打開直流電源,在射頻與直流的耦合過程中對靶材進行預濺射;S5、預濺射完畢后通入氧氣,通過磁控濺射沉積鉭酸鋰薄膜;S6、待樣品架自然冷卻至室溫后,取出襯底,得到鉭酸鋰薄膜;該方法制備得到的鉭酸鋰薄膜可控性、重復性強,提升膜系的整體性能。
聲明:
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