本發明涉及一種硅和鈮酸鋰混合集成光調制器,包括絕緣體上硅基光波導結構、光學分束結構、硅楔形波導光學模式轉換結構、鍵合介質層、鈮酸鋰波導、信號金屬電極和接地金屬電極,其中絕緣體上硅基光波導結構與光學分束結構的輸入端連接,光學分束結構的兩個輸出端分別通過硅楔形波導光學模式轉換結構與鈮酸鋰波導連接;所述信號金屬電極設置在鈮酸鋰波導結構相對的一側;接地金屬電極設置在鈮酸鋰波導結構相背的一側;所述混合集成光調制器是一種雙層結構:硅基光波導結構、光學分束結構、硅楔形波導光學模式轉換結構設置在鍵合介質層內,鈮酸鋰波導、信號金屬電極和接地金屬電極設置在鍵合介質層上方。
聲明:
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