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> 鋁酸鋰晶片的氮化方法

鋁酸鋰晶片的氮化方法

1071 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 21:28:40

一種鋁酸鋰晶片的氮化方法,該方法的具體工藝包括:將經過化學機械拋光的具有較好表面的鋁酸鋰晶片放入馬弗爐的石英管或鋼管中,打開氮化源氣路,調節氣壓至超過大氣壓0.005-0.05MPa并在石英管流動;馬弗爐按100℃/小時的升溫速率升溫至800-1000℃,保溫5-25分鐘,然后按照100℃/小時的速率降溫至室溫;從馬弗爐取出氮化的鋁酸鋰晶片。經本發明方法處理后,提高了化學機械拋光后的鋁酸鋰晶片的熱穩定性和表面質量。

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聲明：

“鋁酸鋰晶片的氮化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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