本發明公開了一種Z切鈮酸鋰錐形波導及其制備方法,錐形波導的整體結構包括鈮酸鋰基底(1)、位于鈮酸鋰基底(1)+Z面上的質子交換層(2)、以及作為高折射率錐形波導區的錐形橫向擴散區(3);所述錐形橫向擴散區(3)由所述質子交換層(2)中的質子在交換過程中橫向擴散進入錐形區域的氫離子繼續向里均勻擴散形成;本發明利用質子交換(PE)濕法刻蝕技術和退火工藝相結合,在Z切鈮酸鋰基底上制作出錐形波導,從而實現鈮酸鋰錐形波導制作工藝的改進和發展,推動鈮酸鋰波導器件向更加小型化、低損耗方向發展。與現有技術相比,本發明制作的錐形波導能夠實現模式的轉換功能,進一步降低器件的耦合損耗,提高器件的傳輸性能。
聲明:
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