本發明公開了一種諧振式集成光學陀螺用多功能鈮酸鋰芯片。本發明在鈮酸鋰波導基底上集成入射單元,用于對入射光起偏;相位調制單元,用于對起偏后的光進行調制得到調制光波;第一耦合單元,用于將返回光波耦合進探測器;第二耦合單元,用于對調制光波按一定比例分光;出射單元,用于將分光后的光起偏后輸出到后續諧振腔。采用鈮酸鋰薄膜生長技術優化鈦擴散鈮酸鋰波導的模場分布,減小其與光纖的耦合損耗;采用附加金屬層技術實現對輸入/輸出光偏振態的控制,減小陀螺系統偏振噪聲。本發明的芯片集成相位調制、偏振控制與耦合分光功能,體積小,耦合損耗小,偏振控制能力強,有助于提高諧振式集成光學陀螺的靈敏度與穩定性。
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