本發明公開了一種LiSiPON鋰離子電池固態電解質薄膜的制備方法。它是由N2:Ar體積流量比為1:5-1的離子束轟擊Li3PO4和Si3N4,得到的厚為80nm~150nm的LiSiPON薄膜。本發明同時公開了LiSiPON鋰離子電池固態電解質薄膜在制備微型全固態鋰電池材料方面的應用。通過實驗得到提高N2的比例有效提高薄膜中的含氮量,并在最佳配比:氮氬流量比為1:1時,其離子電導率可達6.8×10-6S/cm。結合薄膜電極可組裝為全固態薄膜鋰離子電池,本發明所述的方法不僅成本低,工藝簡單,而且制備的薄膜致密均勻,制備條件可控性強,便于規模商業化生產。
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