本發明公開了一種鈮酸鋰和SU?8混合集成空芯光子晶體光纖陀螺。本發明包括第一芯片和第二芯片,第一芯片的一側和第二芯片一側拼接形成光纖陀螺;第一芯片包括從下到上依次層疊布置的硅襯底、二氧化硅緩沖層和鈮酸鋰單晶薄膜,所述鈮酸鋰單晶薄膜上集成布置光傳輸系統;第二芯片包括從下到上依次層疊布置的光刻膠涂層和第二硅襯底;在光刻膠涂層上集成布置諧振腔光路。光纖陀螺中的光束在光傳輸系統和諧振腔光路中傳導,通過探測器來檢測轉動信息。本發明提高了光學陀螺系統的集成度,提高光纖陀螺的可靠性和環境適應性;采用球透鏡和平面分光鏡組合的方式,實現將波導中的光耦合進入諧振腔的功能,實現光在腔內諧振的功能,有效降低了腔內損耗。
聲明:
“鈮酸鋰和SU-8混合集成空芯光子晶體光纖陀螺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)