本發明屬鋰離子薄膜電池技術領域,具體涉及一種應用于全固態薄膜鋰電池的正極材料鎢酸鐵鋰薄膜(LiFe(WO4)2)及其制備方法,本發明采用射頻磁控濺射沉積法制備非晶態鎢酸鐵鋰薄膜,其特點是薄膜在室溫下沉積,無需退火處理,與固態電解質薄膜可形成良好匹配的界面。結合射頻磁控濺射制備的鋰磷氧氮(LiPON)固態電解質薄膜與真空熱蒸發制備的金屬鋰負極薄膜,組裝成全固態薄膜鋰電池。電池的比容量可達104mAh/cm2-μm,循環次數可達150次。這些結果表明:射頻磁控濺射方法制備LiFe(WO4)2正極薄膜,能應用于全固態薄膜鋰電池。
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