本發明提出了一種鈮酸鋰晶體納米疇結構的制備裝置及方法,其目的在于解決現有極化技術在鈮酸鋰晶體中制備納米疇結構中存在的技術難題,其適用于鐵電晶體納米疇工程領域中納米疇結構的制備,尤其適用于Z切向的同成分鈮酸鋰晶體、摻鎂鈮酸鋰晶體等。所述制備方法包括步驟:第一步,在鈮酸鋰晶體中構造疇壁結構;第二步,對該樣品進行熱處理;第三步,對樣品進行二次極化。本技術通過改變熱處理溫度和熱處理時間,可以制備出不同尺寸的納米疇結構。疇結構的尺寸一般在百納米量級,深度在百微米量級。利用該技術可以制備百微米長的高質量納米疇結構。該技術具有操作簡單,可以實現批量化、大面積制備納米疇結構等特點。
聲明:
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