本發明屬電化學技術領域,具體為一種“原位”沉積全固態薄膜鋰電池的設備,以及采用該設備制備全固態薄膜鋰電池的方法。該設備由四個沉積薄膜腔室和一個手套箱串聯組成,不同薄膜分別在四個不同的腔室中制備:直流磁控濺射室制備電子集流體薄膜、直流或射頻磁控濺射室制備陰極薄膜、射頻磁控濺射室制備電解質薄膜以及真空熱蒸發室制備金屬鋰陽極薄膜。本發明在不破壞真空的條件下實現了各種薄膜的“原位”沉積,避免了薄膜間界面被塵埃、水分和其他污染物沾污。采用該設備制備的全固態薄膜鋰電池具有較小的界面電阻和電荷轉移電阻,在充放電循環中表現出較小的容量衰減性能。
聲明:
“原位沉積制備全固態薄膜鋰電池的設備和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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