本發明公開了一種鋰靶材組件的制造方法,包括:提供鋰靶坯,所述鋰靶坯具有第一主表面和與第一主表面相反的第一背面;提供背板,所述背板具有第二主表面和與第二主表面相反的第二背面;對所述背板的第二主表面進行鍍鋰處理,形成鍍鋰層;將所述鋰靶坯的第一主表面與所述背板的第二主表面上的鍍鋰層相對設置并貼合,形成初始組件;在真空環境中,向所述初始組件施加壓力,使所述鋰靶坯與所述鍍鋰層結合,完成鋰靶坯與背板的綁定,從而形成鋰靶材組件。本發明技術方案降低了鋰靶坯與背板的綁定難度,提高了鋰靶材組件生產制造的效率。
聲明:
“鋰靶材組件的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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