本發明涉及一種含硅負極材料的補鋰方法及負極片、電池,該方法包括如下步驟:將含硅負極材料形成于集流體上,制得基片;將所述基片進行預加熱,并將所述基片在真空條件的氛圍下采用真空濺射的方式進行補鋰;其中所述預加熱的溫度高于所述氛圍的溫度且低于所述補鋰的靶材的熔點。上述含硅負極材料的補鋰方法,通過對補鋰腔室的氛圍加熱并控制溫度不會超過靶材的熔點,避免靶材熔化導致靶材失效;通過對基片進行預加熱以使靶材上的材料鍍到基片上處于微熔狀態,如此可以加速靶源粒子在薄膜表面的擴散,從而提高薄膜的均勻性和致密性。
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