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基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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2025綠色低碳冶金技術創新大會
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025中國電解鋁大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
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選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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> 薄膜鈮酸鋰光波導芯片拋光裝置及其拋光方法

薄膜鈮酸鋰光波導芯片拋光裝置及其拋光方法

650 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 20:56:33

本發明所提出的一種薄膜鈮酸鋰光波導芯片拋光裝置及其拋光方法利用磁力攪拌臺驅動磁轉子在拋光溶液中轉動，進而攪拌拋光溶液與芯片表面發生流動接觸，其中的拋光顆粒與干法刻蝕后的芯片表面發生半接觸或滑動接觸，并伴有少量的粒子轟擊，同時拋光溶劑中的堿性離子與刻蝕表面發生化學刻蝕反應，利用拋光溶液的不斷攪動實現沿刻蝕表面平行方向的化學刻蝕和粒子轟擊，進而去除沉積在干法刻蝕表面的刻蝕生成物以及干法刻蝕產生的尖峰和凸起，達到刻蝕表面和波導側壁光滑化的效果，與傳統的接觸式機械研磨拋光和化學機械拋光方法相比，具有結構簡單、操作簡便、成本低、表面損傷小的優點。

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聲明：

“薄膜鈮酸鋰光波導芯片拋光裝置及其拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方

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4 廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源

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