本發明屬于酸鋰晶片用具技術領域,尤其涉及一種6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝。本發明公開了一種6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝,其步驟如下:A:切割成厚度0.6-1mm的晶片;B:把晶片裝入還原爐內還原;C:研磨后用超聲波清洗干凈;D:粘片工藝;E:研磨工藝;F:拋光工藝;G:清洗工藝:然后裝盒。本發明采用2次腐蝕去除晶片內部應力,晶片黑化去靜電荷,機械化學法拋光達到超光滑平面,使得各項指標達到TTV<5um,BOW<40um,warp<40um?PLTV>95%適合大批量生產。
聲明:
“6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)