本發明實施例公開了一種微納3D打印方法及打印設備,涉及新能源技術領域,能夠實現ALD的原子級制造精度的同時,又能緩減ALD中的缺陷。本發明包括:將基底37放入腔體3內,啟動真空泵35對腔體3抽真空;將等離子氣體氣源通入等離子體槍4,等離子氣體在等離子體槍4內發生電離后,產生活性官能團自由基,對基底37表面進行活性官能團的接枝;激光頭1按照打印圖樣照射掃描基底37的表面加熱;通入第一前驅體源,激光頭1照射步驟S3中形成的活性官能團圖樣,形成的第一前驅體源圖樣;通入第二前驅體源,激光頭1照射步驟S4中形成的第一前驅體源圖樣,形成分子層的圖樣;激光頭1照射步驟S5中形成的分子層圖樣去除雜質。本發明適用于微納3D打印。
聲明:
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