本發明實施例公開了一種同腔制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點的方法及設備,涉及新能源技術領域,便于量子點的產業化和大規模應用。本發明包括:將樣品基底放入反應腔體內,啟動真空系統對反應腔體抽真空;向反應腔體輸入?OH有機物氣體作為?OH等離子氣體源;啟動激光加工頭掃描樣品基底的表面;啟動激光加工頭再次對樣品基底的表面進行掃描;向反應腔體輸入驅體氣體,并啟動激光加工頭掃描樣品基底的表面進行加熱;向反應腔體輸入O源前驅體,啟動激光加工頭加熱樣品基底的表面,使表面吸附的源前驅體與輸入的O源前驅體發生化學反應,生成量子點陣列。本發明適用于制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點。
聲明:
“同腔制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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