本發明實施例公開了一種用于硒化物量子點的綠色制造方法及設備,涉及新能源技術領域,能夠克服在傳統濕法制造工藝中的缺陷,以便于推進量子點產業化和大規模應用。本發明包括:將樣品(2)放入石英腔體(26)內,啟動真空泵(24)對石英腔體(26)抽真空,向石英腔體(26)輸入?SeH有機物氣體作為?SeH等離子氣體源,啟動激光加工頭(1)掃描樣品(2)的表面,向石英腔體(26)輸入驅體氣體,并啟動激光加工頭(1)掃描樣品(2)的表面進行加熱,向石英腔體(26)輸入Se源前驅體,啟動激光加工頭(1)加熱樣品(2)的表面,使表面吸附的源前驅體與輸入的Se源前驅體發生化學反應,生成量子點陣列。本發明適用于硒化物量子點制造。
聲明:
“用于硒化物量子點的綠色制造方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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