本發明實施例公開了一種用于制造硫化鋅、硫化鉛和硫化鎘量子點的方法及設備,涉及新能源技術領域,能夠用來高精度、低成本、大規模地制造量子點陣列。本發明包括:激光加工頭1與激光器相連,并且激光加工頭1豎直向下指向樣品支架25;反應腔體3上頂部開設有開口,開口中安裝玻璃窗口2,以便于激光加工頭1射出的激光透過玻璃窗口2向樣品支架25照射,樣品支架25用于放置樣品基底26;樣品支架25安裝在反應腔體3中,反應腔體3的兩側分別安裝有微波源4和與微波源4相對應的調諧器;反應腔體3接入了五條管路,各個管路分別輸送不同類別的前驅體氣體。本發明適用于硫化鋅、硫化鉛和硫化鎘量子點制造。
聲明:
“用于制造硫化鋅、硫化鉛和硫化鎘量子點的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)