本實用新型提供一種CVD反應爐過濾裝置,涉及復合材料制備的技術領域,包括沉積桶,所述沉積桶的出氣管連接有過濾機構,所述過濾機構包括殼體,所述殼體底部從下到上依次設有阻隔板和轉盤,所述殼體頂部設有通板,所述阻隔板與所述通板之間形成過濾腔,所述轉盤設于所述過濾腔內,所述轉盤上連接有轉筒,所述沉積桶的出氣管伸入至轉筒內;所述過濾腔內還設有引流筒,所述引流筒設于所述轉筒內,所述引流筒的頂部與所述通板連接,所述通板上設有通孔,以使所述引流筒與所述過濾腔連通,所述引流筒的底部伸出所述轉盤和所述阻隔板,所述殼體底部還設有引風機,所述引風機的進氣管與所述引流筒的底部連接。
聲明:
“CVD反應爐過濾裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)