本實用新型公開了一種用來制備納米硅粉的等離子體裝置,其特征在于,包括中空的腔體,所述腔體上端設有供硅粉料進入的投料口和保護氣氛通入的風簾;所述腔體內部分為上中下三部分,上半部分為燃燒室,中間部分為接枝反應腔,下半部分為沉淀腔;所述燃燒室內裝有石英管,石英管外圍繞有放電線圈,石英管內為等離子弧高溫區域;所述石英管上端連接投料口和風簾進氣端;等離子弧高溫區域下端設在接枝反應腔內,接枝反應腔內壁設有從外部通入活性氣體和接枝反應氣體的進氣管道。本實用新型可以將碾磨好的微米級硅粉經高溫等離子體氣化、活化處理、接枝反應等步驟得到一種核殼結構硅納米復合材料,成品轉化率和純度較高,適合規?;a使用。
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“用來制備納米硅粉的等離子體裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)