本實用新型涉及一種可在線清潔的載板,它包括主載板和嵌設于主載板上的子載板;所述主載板上設有若干個用于容置子載板的子載板凹槽;所述子載板設有一個以上用于承載基片的基片凹槽,所述基片凹槽底面的中部鏤空;所述主載板包括主要由碳纖維復合材料制成的主體以及包覆在主體外且主要由類金剛石膜或復合陶瓷膜制成的保護膜;所述子載板主要由鋁合金制成。本實用新型的目的在于提供一種可在線清潔的載板,既能在腔室進行在線清潔,延長生產時間,提高設備利用率,且保證載板長期運行不容易變形,又能在保養后快速恢復膜層質量。
聲明:
“可在線清潔的載板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)