本發明提供網狀氧化鎢納米線修飾的硅納米線異質多級結構及其制備方法和應用,按照下述步驟進行:金屬輔助化學刻蝕法刻蝕硅納米線陣列、硅納米線陣列的稀疏、粗糙化處理、氧化鎢種子層的制備和網狀氧化鎢納米線的水熱生長?;谝痪S納米線的層狀復合材料由于具有獨特的高活性表面結構,非常適合于氣體傳感器,網狀氧化鎢納米線修飾的硅納米線異質多級結構因其特殊的異質結結構,增強了電導率以及載流子輸運能力,所以在常溫下對NO2有較強的敏感響應。該結構可在常溫下檢測NO2氣體,在氣體傳感器與集成電路工藝兼容,延長傳感器壽命,節約能耗,以及危險氣體檢測方面具有很重要的研究價值。
聲明:
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