本發明公開了一種應用碳纖維包覆金屬桿制備硅片承載器制品及其制備方法,碳纖維包覆金屬桿制品是將金屬桿外粘合碳纖維,在金屬桿外形成耐腐蝕碳纖維保護層,然后在碳纖維外可以采用注射塑料或用空心塑料桿組裝的方法,制備硅片承載器。以碳纖維包覆金屬桿為拉桿增強材料,有效增加了拉桿的強度,同時由于碳纖維內包入了金屬,增加了復合材料的平均密度,有效防止了硅片承載器在酸、堿溶液中清洗時易翻車的問題,同時在金屬桿外增加了碳纖維防腐蝕層,與外層塑料形成了多層保護,且外層塑料與碳纖維桿結合牢固,提高了硅片承載器的使用壽命。
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