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            用于石墨烯生長的工藝腔

            1139   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 17:48:45
            本發明公開了一種用于石墨烯生長的工藝腔,用于生產石墨烯薄膜,包括腔體,所述腔體的上端和下端的內壁上均設有一環形安裝槽,每個所述環形安裝槽中均設有耐高溫碳碳材料圓筒。本發明中,由于腔體的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒,碳碳材料容易吸附銅及黑色炭殘留物,腔體長時間使用后銅及黑色炭殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒上,當腔體使用40天至50天后,拆掉耐高溫碳碳材料圓筒,安裝新的耐高溫碳碳復合材料圓筒,工藝腔可以恢復生產,工藝腔的清洗間隔周期延長,清洗過程時間縮短。
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            “用于石墨烯生長的工藝腔” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
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