本發明公開了一種寬域型氧傳感器片芯及其制造方法。其片芯依次為它由多孔陶瓷保護層(1),泵電池上電極(2),泵電池介質層(3),泵電池參考電極(4),參考電池介質層(5),參考電池電極層(6),參考氣室層(7),梯度連接層(8),上基板層(9),加熱電路層(10)和下基板層(11)依次相疊構成;梯度連接層(8)采用梯度復合材料過渡技術,有效地解決了異質材料間的結合問題;泵電池介質層上有一擴散孔及上下相對應的環形電極;參考電池介質層上有一擴散小腔,擴散小腔內采用多孔陶瓷填料支撐技術,確保了腔體的形成和信號的靈敏度;各層采用流延成型和絲網印刷相結合方式,依次定位、疊壓和切割,制成氧傳感器片芯胚體,燒結制成致密的氧傳感器片芯。
聲明:
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