一種用于修整CMP墊的研磨工具包括通過金屬粘結劑聯接到基底上的磨料顆粒以及一個涂層,例如一個氟摻雜的納米復合材料涂層。這些磨料顆??梢园匆环N自避免式隨機分布來排列。在一種實現方式中,一種研磨工具包括一個涂覆的板以及一個涂覆的磨料物品,該物品具有兩個研磨表面。其他的實現方式涉及一種用于生產研磨工具的方法,該研磨工具包括在其一個或多個表面上的涂層。在此還描述了用于整修CMP墊的方法。
聲明:
“耐腐蝕性CMP修整工件及其制造和使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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