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            > 雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法

            雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法

            974   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 17:18:50
            本發明公開了一種雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法,其特征在于,采用雙碳源氣體通過雙回路實現定向流動形成穩定的溫度場和熱流場,促進熱解碳快速沉積至預制體內部,實現了預制體的高效致密,提高了炭基復合材料的密度及均勻性;依次包括預制體前處理、一次氣相沉積、高溫純化、機械加工和二次氣相沉積步驟。本發明公開的雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法沉積周期短,碳源利用率高,制成的炭基復合材料致密度高,密度及均勻性好。
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            “雙回路雙碳源快速定向氣相沉積方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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