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            在金剛石/銅復合基體表面制備Mo/AlN/BN涂層的方法

            1173   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 17:12:18
            一種在金剛石/銅復合基體表面制備Mo/AlN/BN涂層的方法,涉及一種復合材料表面處理。在金剛石/銅復合基體表面磁控濺射沉積金屬Mo過渡層;在金屬Mo過渡層上反應濺射沉積AlN薄膜;在AlN薄膜上沉積BN抗氧化保護層。在經過離子源轟擊清洗的金剛石/銅復合基體表面,先沉積金屬Mo過渡層,以緩解基體與涂層熱膨脹系數失陪問題,并增強膜-基結合強度;然后采用反應磁控濺射方法沉積AlN薄膜;最后沉積一層具有高熱導率的BN抗氧化保護層,提高涂層的抗氧化性能??稍诮饎偸?銅復合基體表面制備具有高絕緣性、低相對介電系數、低介電損耗、高導熱率,且結合良好、性能穩定的Mo/AlN/BN涂層。
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