本發明涉及一種能夠在室溫下檢測低濃度NO2的氣敏元器件及其制備方法。制備方法包括:(1)多層Ti3C2MXene的合成;(2)TiO2/Ti3C2的合成;(3)TiO2?x/Ti3C2的合成;(4)氣敏元器件的制作。本發明目的是為了解決現有MXene基材料氣敏性差的問題,該制備方法工藝簡便、成本低,利用該方法制備的TiO2?x/Ti3C2復合材料中TiO2具有特殊的高能高活性的{001}晶面和豐富的氧空位,且復合材料具有肖特基異質結構,在室溫下對10ppmNO2的響應(ΔR/Ra)分別高達4.6,遠超于現有的MXene基氣敏材料。此外,TiO2?x/Ti3C2還具有良好的循環響應。本發明為構建具有特殊晶面和富含氧空位的MOS/MXene氣體敏感材料提供了有效的方法,進一步推動氣敏技術的發展。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)