本發明公開了一種基于多孔襯底的電阻式NO2氣體傳感器,包括襯底,襯底上噴涂有氣敏材料,氣敏材料為RGO?SnO2復合材料;襯底以硅片作為基片,基片上表面經過刻蝕形成具有微孔陣列的凹凸面;基片的上表面及下表面均熱氧化生長有SiO2絕緣層;氣敏材料均勻噴涂在所述基片上表面的SiO2絕緣層上形成氣敏薄膜。還公開了該傳感器的制備方法 : 制備RGO?SnO2復合材料溶液作為氣敏材料;制備襯底:選取硅片作為基片,在其上表面進行刻蝕,形成具有微孔陣列的凹凸面,然后在基片的上、下表面均熱氧化生成SiO2絕緣層,清洗吹干后得到襯底;將氣敏材料噴涂到襯底上表面的SiO2絕緣層上,形成氣敏薄膜。該傳感器能在常溫下工作,增強對低濃度NO2的響應性能。該制備方法步驟簡單、成本較低。
聲明:
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