本發明涉及傳感器領域,公開了一種叉指型大面積柔性陣列傳感器及其制備方法,傳感器包括設有叉指型陣列電極和導線的電極板、柔性基板和位于電極板和柔性基板之間的陣列壓敏層和絕緣膠層,叉指型陣列電極包括若干含有相同叉指電極的陣列單元,導線包括行導線和列導線,各叉指電極的兩端分別與行導線和列導線相連接,其制備方法包括如下步驟:采用絲網印刷工藝制備電極板;制備壓敏復合材料;采用絲網印刷工藝將未固化的壓敏復合材料印刷在電極板上的陣列單元處,形成陣列壓敏層;將電極板和柔性基板通過絕緣膠貼合。本發明工藝簡單,效率較高,成本低廉,且制備出的大面積高密度柔性陣列傳感器靈敏度高、穩定性好、壓力感知范圍大。
聲明:
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