本發明屬于電子材料技術領域,涉及平面磁性陣列器件的制備方法。先將永磁陣列母板固定于基底下表面,然后在基底上表面均勻涂覆納米鐵氧體/光敏聚合物復合材料,然后靜置待納米鐵氧體磁性粒子在永磁陣列母板磁場的作用下按照母板的陣列圖形排布后曝光實現納米鐵氧體磁性粒子的固化,最后去除永磁陣列模板即可得到相應的磁性陣列。本發明實質上是利用永磁陣列母板復制磁性陣列;同時,本發明利用光敏聚合物來固定磁性陣列中的納米鐵氧體磁性粒子,解決了現有技術中“因圖形分辨率下降導致器件失效”的技術問題。本發明工藝簡單、操作容易、無需光刻和成本低廉,適于大規模生產,在微電子、光電子、磁記錄及微波器件領域中具有廣泛的應用前景。
聲明:
“磁性陣列的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)