本實用新型涉及一種組合式坩堝,包括由炭/炭復合材料制成的坩堝主體和等靜壓石墨材料制成的底托;所述坩堝主體底部設有開孔,所述底托是與坩堝主體的底部相配合的碗型,其邊緣向坩堝主體的邊緣光滑過渡,底托的底部設有與所述坩堝主體的開孔相配合的錐形臺,所述底托的外側壁與坩堝主體的內側壁之間保持0.2-0.5mm的間隙。本實用新型性價比遠大于一體的石墨坩堝,使用性能優于一體的炭/炭復合材料坩堝,這樣大大降低單晶硅生產成本的同時,使得炭/炭復合材料坩堝得到了廣泛的應用,具有廣闊的應用前景。
聲明:
“組合式坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)