本發明涉及一種多元硼硅酸玻璃+AlN低溫共燒陶瓷材料及其制備方法。該材料包括低熔點的多元玻璃相和氮化鋁陶瓷相,其中復合材料中低熔點玻璃相的質量分數為(50~70wt%)。本發明制備的低溫共燒復合材料燒結溫度低,可在(750~850)℃下實現燒結,大大低于目前LTCC材料的燒結溫度的上限(950℃);復合材料的熱導率較高,所得材料的致密度高,氣孔率低。另外本發明制備材料的工藝過程簡單,成本低廉。
聲明:
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