提供一種用于半導體制造裝置的靜電吸盤組件,其可用水冷卻,并且不發生穿透泄漏。通過調節Cu基復合材料中的具有大的熱膨脹系數的Cu和Ni以及具有小的熱膨脹系數的W和Mo的比,可以得到具有與用于靜電吸盤的氧化鋁材料相同的熱膨脹系數的高熱導材料。但是,由于該復合材料具有穿透泄漏,不能在真空系統中使用。根據本發明,通過進行鍛造處理,可防止擊穿泄漏。同時,通過電鍍或濺射施加Ni、Cr或Cu膜可改進對冷卻板來說很重要的耐腐蝕性。
聲明:
“靜電吸盤組件和冷卻系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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