本發明公開了一種多疊層式納米壓電器件,從下往上依次包括聚偏氟乙烯/錫酸鋅復合材料薄膜基層I、氧化鋅納米線陣列I、摻雜ZnO納米顆粒PVDF纖維薄膜層、氧化鋅納米線陣列II和聚偏氟乙烯/錫酸鋅復合材料薄膜基層II;所述聚偏氟乙烯/錫酸鋅復合材料薄膜基層I和聚偏氟乙烯/錫酸鋅復合材料薄膜基層II的一側分別連接有一ITO柵電極,所述ITO柵電極上設有high?k介質層。本發明具備良好的壓電性能,結構穩定,體積小。
聲明:
“多疊層式納米壓電器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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