本發明的主題是一種以硬質材料覆層的,由金屬、硬質金屬、金屬陶瓷或陶瓷制成的體,其以TiSiCN復合材料層或含有至少一個TiSiCN復合材料層的多層層體系覆層,其中,根據本發明,TiSiCN復合材料層是借助熱化學氣相沉積方法而不附加等離子體激發地制造的納米復合材料層,其含有由帶有在5nm和150nm之間的微晶尺寸的TiCxN1-x組成的納米晶相以及由非晶的SiCxNy組成的第二相。根據本發明的層的突出之處在于高硬度、高氧化耐受性和溫度耐受性以及高粘附性。為了制造這種TiSiCN納米復合材料層,本發明包含一種方法,其中,該層在含有一種或多種鹵化鈦、一種或多種含硅前體、氫、以及帶有碳原子和氮原子的反應性化合物和/或氮化合物和/或碳氫化合物和/或惰性氣體的氣體混合物中通過熱化學氣相沉積工藝在700℃和1100℃之間的溫度并且在10Pa和101.3kPa之間的壓力下不附加等離子體激發地沉積,其中,鹵化鈦和含硅前體的摩爾比例選擇為,使得在氣體混合物中Si與Ti的原子比例大于1。根據本發明的方法使得在工業條件下也能夠成本低廉地生產這種類型的覆層。
聲明:
“以硬質材料覆層的,由金屬、硬質金屬、金屬陶瓷或陶瓷制成的體以及制造這種體的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)