本發明是對氮化硅發熱體的改進。它采用納米級氮化硅細粉填加入普通氮化硅粉達到改性的目的,使配方組份中省略了價格昂貴的氮化鋁,從而使高壓高溫燒結工藝轉化為常壓高溫下燒結。不但大大降低了成本而且提高了發熱體的質量,有利于推廣普及。配方中采取了45~82%的0.1~5μm的氮化硅和14~40%的小于100nm級的氮化硅微粉,配上0.1~5%的三氧化二鋁和3.9~10%的三氧化二釔填加劑,獲得了滿意的效果。
聲明:
“納米級氮化硅復合材料發熱體及制作工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)