本發明公開了一種碳復合材料生產用氣相沉積系統及方法,包括兩端開口的腔體,其中一個開口為進氣口,另外一個開口為出氣口,所述腔體的內徑從進氣口至出氣口的方向逐漸增大,所述腔體包括從內至外依次設置的石墨內層、石英層、石墨氈層和外防護層,所述石英層和石墨氈層之間設有加熱層。該系統通過對腔體結構進行改進,具體為將傳統的直筒式的腔體改進為從進氣口至出氣口的方向逐漸增大內徑逐漸增大的腔體,利用伯努利原理減小氣體流速,增大氣體氣壓從而彌補“消耗”現象,使制備生成的外延層厚度更加均勻。
聲明:
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