本實用新型涉及碳/碳復合材料坩堝窄流感應耦合CVD致密化工裝及化學氣相沉積爐。所述致密化工裝包括感應耦合工裝和氣流工裝,所述感應耦合工裝和氣流工裝均與碳纖維坩堝制品相適配,以形成感應電磁耦合和氣體窄縫流動通道,限制氣體在碳纖維坩堝制品表面交換層區流動,使流經碳纖維坩堝制品表面的氣體原位熱解沉積形成碳基體。所述致密化化學氣相沉積爐包括真空感應化學氣相沉積爐的反應室,在反應室中設有與碳纖維坩堝制品相適配的感應耦合工裝和氣流工裝。本實用新型通過窄縫氣流和感應耦合措施的協同作用下,抑制制品表面先結殼現象,使碳/碳復合材料坩堝制品快速的內外均衡致密化。
聲明:
“碳/碳復合材料坩堝窄流感應耦合CVD 致密化工裝及化學氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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